Physik Instrumente長行程物鏡掃描儀

P-725.xCDE2 PIFOC

用于顯微鏡物鏡的高精度定位器和掃描儀

行程范圍達(dá) 800 µm

與電動驅(qū)動器相比，響應(yīng)速度明顯更快，使用壽命更長

具有亞納米分辨率的物鏡精細(xì)定位

使用電容式傳感器進(jìn)行直接位置測量：高線性度

與 Metamorph® 成像軟件兼容

? 29 mm 大通光孔徑

Physik Instrumente長行程物鏡掃描儀應(yīng)用領(lǐng)域

超分辨率顯微鏡

光盤顯微鏡

共聚焦顯微鏡

2光子顯微鏡

3D 成像

篩選

干涉測量法

測量技術(shù)

自動對焦系統(tǒng)

生物技術(shù)

半導(dǎo)體檢測

PICMA® 壓電執(zhí)行器具有出色的使用壽命

PICMA® 壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護(hù)它們免受因漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障的影響。PICMA® 執(zhí)行器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣執(zhí)行器長十倍。已證明 1000 億次循環(huán)無一次故障。

具有電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，無需接觸。它們保證出色的運(yùn)動線性度、長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

零間隙撓性導(dǎo)軌實現(xiàn)高導(dǎo)向精度

撓性導(dǎo)軌免維護(hù)、免摩擦和免磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且它們對沖擊和振動不敏感。它們在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。

運(yùn)動P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2寬容

活動軸ZZZ 

Z 軸行程范圍100微米400微米800 微米+20 / -0 %

Z 軸行程，開環(huán)120微米420微米840 微米±20%

Z 中的線性誤差0.01%0.01%0.02% 

偏航（θX 方向的旋轉(zhuǎn)串?dāng)_，Z 方向的運(yùn)動）± 10 µrad± 10 µrad± 50 µrad 

音高（θY 方向的旋轉(zhuǎn)串?dāng)_，Z 方向的運(yùn)動）± 10 µrad± 45 µrad± 50 µrad 

定位P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2寬容

Z 軸系統(tǒng)分辨率0.2 納米0.2 納米0.8 納米 

Z 軸分辨率，開環(huán)0.1 納米0.1 納米0.4 納米類型。

Z 軸小增量運(yùn)動1納米4納米5納米 

Z 軸 10% 步長的穩(wěn)定時間14 毫秒22 毫秒39 毫秒±10%

Z 軸位置噪聲0.1 納米0.1 納米0.4 納米大限度。

集成傳感器電容式直接位置測量電容式直接位置測量電容式直接位置測量 

傳感器噪聲，1 西格瑪0.2 納米0.2 納米0.8 納米 

點重復(fù)性，10% 步長，1 西格瑪10納米10納米50納米 

驅(qū)動器屬性P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2寬容

驅(qū)動器類型PICMA®PICMA®PICMA® 

Z 方向的電容3.2 µF6.4 µF12.8 µF±20%

機(jī)械性能P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2寬容

指導(dǎo)帶杠桿放大的撓性導(dǎo)軌帶杠桿放大的撓性導(dǎo)軌帶杠桿放大的撓性導(dǎo)軌 

Z 軸剛度0.5 牛頓/微米0.25 牛頓/微米0.07 牛/微米±20%

Z 軸共振頻率，負(fù)載 150 g290赫茲175赫茲110赫茲±20%

Z 軸諧振頻率，空載680赫茲400赫茲230赫茲±20%

物鏡直徑39 毫米39 毫米39 毫米大限度。

允許的 Z 軸推力100牛100牛100牛大限度。

Z 方向的許用拉力20牛20牛20牛大限度。

總質(zhì)量280 克280 克350 克±5%

材料不銹鋼、鋁不銹鋼、鋁不銹鋼、鋁